全自动光罩超声波清洗机是非标订制的一台全封闭式全自动龙门双臂步进七工位超声波清洗烘干机，除人工上下料外其它均由PLC控制自动完成整个清洗工作。整套设备主要有1套电控系统、1台上料工位、1台下料工位和4个清洗工位和1个烘干工位组成，主要针对光罩内外表面的油污、灰尘等杂质的高清洁度清洗，确保光罩能达到技术条件要求，内部无杂质。

全自动光罩超声波清洗机特点：

采用自主研发的超声波发生器、超声波换能器，超声强劲均匀，机械Q值高、性能稳定，使用寿命长。

PLC控制系统：进排水、清洗温度、清洗时间、烘干时间、过滤循环时间、超声波功率等所有参数在人机界面设置运行。

过滤循环系统：过滤精度1-50um可选，过滤掉清洗液中的颗粒沉淀物、悬浮物、漂浮物等，提高清洗剂利用率，节省清洗成本。

全自动光罩超声波清洗机内槽材质采用304不锈钢，耐酸碱，抗腐蚀能力强。

设备使用优质不锈钢包裹，采用1.0mm厚电解板喷粉及亚加力板活动门和透明观察窗。

清洗槽内投入篮、搬出篮及槽间移动篮的全部过程都由机械手自动完成。

清洗篮：骨架采用圆枝结构，四周和底板采用不锈钢孔板焊接，承重能力强。

全自动光罩超声波清洗机占地小，功耗低

可适用碳氢和改性醇溶剂

真空、高温超声清洗，清洗效果佳

溶剂循环蒸馏，实现清洗液零排放

全自动光罩超声波清洗机全密闭清洗腔结构，溶剂损耗低，约0.15升/时

清洗工艺：

粗洗准备

喷淋+超声浸泡粗洗，粗洗自循环，粗洗回液，粗洗完成

全自动光罩超声波清洗机精洗准备

喷淋+超声浸泡精洗，精洗自循环，精洗回液，精洗完成

蒸汽浴洗+真空干燥

可选配置：

全自动光罩超声波清洗机自动进出料装置、退磁装置、洗篮转动或摆动装置、辅助蒸馏装置、防锈处理、全密闭安全容器

设备优势：

不锈钢材质，耐腐蚀，槽体内部抛光处理

采用喷淋、真空、超声波、蒸汽等典型清洗工艺

全自动光罩超声波清洗机密封盖板采用进口铝材，全氟胶密封

设置观察窗，工艺过程清晰可见

槽体采1采用先进的清洗技术及工艺、功能完善:

全自动光罩超声波清洗机油水分离器、滤袋式过滤器，工艺先进:

机械臂的横向移动，工件的上下升降，洗篮挂、脱钩装置均采用电机传动，结构合理、轻巧，维修方便;设有抛动、慢拉脱水位置。

全自动光罩超声波清洗机采用触摸屏终端显示，具有人机对话功能，可选择设定各种功能参数，采用PLC可编程控制器控制全清洗过程，既可全自动操作，也可手动操作。

各功能过载保护声光警示功能及热风发生器干燥系统:

智能记忆化控制，二十四小时任意设定提前工作准备，提高工件效率，真正自动化。

用加厚不锈(SUS304)，耐酸碱，使用寿命长；

全自动光罩超声波清洗机采用独特的全自动全工位提升、移位，传动平稳，清洗效率高

设有加热及自动温控系统，采用不锈钢加热管；

篮筐上下抛动装置，提高清洗效果，减少清洗时间；

采用PLc程序控制，及触摸屏人机界面操作，可选择手动或自动控制；

设有循环过滤系统，确保溶液的清洁度：

配有自动除油装置，可根据客户或工件要求选配；

全自动光罩超声波清洗机采用热风循环式烘道烘干系统，烘干速度l怏，6E耗低：

配有空蓝回收装置，实现全自动流水线作业；

采用全封闭结构，整洁美观完整的抽风吸雾装置，确保良好的工作环境

全自动光罩超声波清洗机整机具有过载、过热保护，缺相、漏电保护等，可靠性高；

清洗介质采用市水+水基弱碱性清洗剂和水基防锈剂。

直接安放在地坪上，设计有脚轮，用自带地脚调平。无滴漏不需接水盘或水槽。对安全性、维修性和节能方面做了缜密的考虑。

清洁度标准：清洗后液压阀件内外表面浮着物不得超过需方检验允许的洁净度标准（需方提供）。

全自动光罩超声波清洗机清洗工艺 ：

上料台→超声波粗洗（热水+清洗剂）→超声波精洗（热水+清洗剂）→旋流粗漂洗（热水+水基防锈剂）→鼓泡精漂洗（热水+水基防锈剂）→热风烘干→下料台

全自动光罩超声波清洗机超声波技术：

逆变技术：我公司的超声波发生器主要功率元器件采用日本进口产品，是当今先进，流行的电源技术，具有体积小、重量轻、转换效率高（可达95%）、质量好、寿命长、节能降耗等优点。

频率跟踪技术：超声波发生器的输出频率与换能器频率不匹配时，不仅影响清洗效果； 而且当偏差较大时甚至损坏设备。因此，我们采用频率跟踪技术，改变这一弊端。确保清洗质量，大大延长使用寿命。

频率扫描技术：使用此技术，使所有超声波换能器均能有效工作在共振点，使其负荷均衡，避免由于换能器个体差异而导致部分换能器始终满负荷工作而造成疲劳，从而先行损坏。

佳超声配置：采用台湾高Q 值压电陶瓷换能器，特殊螺柱固定、进口AB胶粘接工艺，脱落，超声强劲，支持长时间高强度作业。

全自动光罩超声波清洗机优点

设备结构紧凑合理，可与前道工序方便衔接。
传动网带采用不锈钢特殊工艺片状网带，使用寿命长。
超声波清洗采用上下两面辐射工艺，清洗效果更明显。
全自动光罩超声波清洗机烘道采用热风循环，温度自动控制，降低热损耗。
传动速度可调，平稳可靠。
自动化程度高、日清洗量大、清洗效果好、消耗低、人员用工少。

本机集多功能于一体，性能稳定、结构紧凑、维护方便、外形美观。

全自动光罩超声波清洗机其主体骨架均采用国标型钢加工，外封板采用1.2mm厚304不锈钢拉丝装饰板封闭；清洗机四周均设置活动门，便于维护；正面上部设有观察窗，便于观察内部运行情况。

清洗槽、储液槽、过滤器、循环泵、管路等接触水的材料均采用304不锈钢材料制作。

电气控制柜采用2.0mm厚碳钢板加工，均经过除锈、防锈、喷塑处理，面漆颜色为乳白色（暂定）。

全自动光罩超声波清洗机料筐材料均采用304不锈钢工业无缝方管加工，大承重≥200Kg，尺寸约L900mm*W500mm*H500mm

清洗槽有效内径尺寸：约L1000mm*W600mm*H600mm

整机大占用空间：约L7000mm*W3500mm*H3000mm