自动晶圆片盒清洗机

全自动晶圆片盒清洗机为敞开型外观，造型美观大方。手工操作，操作简单，清洗效率高，质量效果好，适应大批量生产使用。对于工艺管理使用配方方式，方便于各个参数的输入与管理，并可在设备中设计保护功能来确保操作人员及设备的安全。本机电控部分均采用进口优质件，性能可靠，设备具有清洗速度快、生产效率高、清洗效果好、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点，是晶圆盒行业的理想清洗设备。如有疑问，欢迎联系我们！蓝鲸为您解答！

全自动晶圆片盒清洗机特点：

全自动晶圆片盒清洗机清洗过程由人员控制，设备清洗由1个超声波洗剂槽、3个超声波纯水漂洗槽、及一个离心热风甩干槽。

工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动力冲击工件表面并结合清洗剂的化学去污、除油作用使工件表面干净。

工作过程是由操作者将装有工件的清洗篮放入清洗槽，再由操作者同时送入各个工序段，对工件进行超声波清洗，超声波热水漂洗后出料取出工件。

全自动晶圆片盒清洗机优势：半导体晶圆超声波设备，为敞开型外观，造型美观大方。手工操作，操作简单，清洗效率高，质量效果好，适应大批量生产使用。对于工艺管理使用配方方式，方便于各个参数的输入与管理，并可在设备中设计保护功能来确保操作人员及设备的安全。

全自动晶圆片盒清洗机电控部分均采用进口优质件，性能可靠，设备具有清洗速度快、生产效率高、清洗效果好、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点，是晶圆盒行业的理想清洗设备。

全自动晶圆片盒清洗机工艺流程：上料——超声波清洗——纯水超声波清洗——纯水漂洗——ipa脱水——ipa超声波清洗——ipa超声波 清洗——ipa漂洗——ipa蒸汽浴洗——慢拉冷冻干燥——下料。

全自动晶圆片盒清洗机在日常生产生活中的维护时，应该注意哪些事项呢？

一、全自动晶圆片盒清洗机超声波发生器散热维护。

超声波发生器在底部和侧方位设计时，我们会有专门留有通风口，来保证仪器在生产过程中的有效散热，因而超声波发生器的侧风口能否清洁以及排风和排热能否迟滞将会间接关系到整个仪器的使用寿命以及生产安全问题，所以超声波振荡器应坚持至多两个月清理一次。

二、全自动晶圆片盒清洗机超声波震板过热维护。

质量好的超声波振荡器为了避免仪器因任务中过度发热而招致其零部件损坏，普通都会在仪器外部装备有专门的过热维护安装，但操作人员在运用超声波振荡器的进程中若发现其呈现异常发热的状况也应及时封闭电源并反省发热缘由，以免因大功率任务使过热维护安装生效而形成仪器损毁。